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TS2000-SE Probe System

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是市场上首个具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统,其包含独特的侧面自动装卸功能,
优势:
适用于多种晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测
• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支持飞安级低漏电值量测
• 支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

特点与优势

  • ShielDEnvironment™

    MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微屏蔽暗箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

     

     

     

     

     

  • ShielDCap™

    MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种测试组合。

     

     

     

     

     

     

  • 自动化晶圆装载系统

    该功能提供了非常方便的晶圆装载,并且易于针对自动程序进行预对准,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆。

     

     

     

     

     

     

     

  • 安全管理(STM)系统

    独特的STM系统可防止在测试过程中打开正门,以保证测试过程的安全,任何情况下都无法打开任何系统门。独特的智能露点控制程序可避免冷测试期间的积聚,系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式,迅速将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过保持安全的测试环境,使TS2000-SE的测量更加安全,可靠和方便。

     

     

     

     

  • 高效率的装卸

    自动化的单晶圆装载机和安全测试管理提供了独特的功能,可以在卡盘任意温度下更换晶圆,不再需要冷却或加热到环境温度。这样可以节省大量的等待时间,并显着提高MPI测试系统的整体效率,可支持100mm-200mm不同尺寸晶圆。

     

     

     

     

  • 侧视影像系统(VCE™)

    借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE™影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触,使用DC或RF等探针卡非常安全。

     

     

     

     

     

     

     

  • ERS独特的 AC3冷却技术

    MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

     

     

     

     

     

     

     

  • MPI THZ选项

    它将TS2000-SE系统转换为专用的mmW和THz探针台,这是市场上的第一个自动化探针台测试系统:

    MPI THZ Selection融合了MPI为TS200-THZ开发的频率扩展器集成创新设计,可将扩展器悬停在整个200 mm晶圆上;

    这将与DUT的距离减至最小,以提供最佳的测量方向性和准确性。

     

     

     

     

  • 温控系统

    温度控制可以通过集成的触摸屏显示器来操作,该显示器位于操作员前方的便利位置,以实现快速的操作和即时的反馈。

    TS2000-SE内置集成了高性能的振动隔离平台,可在任何实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。可选的仪器架可缩短电缆长度并增加测量动态性和方向性。

     

     

     

     

     
  • 控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,以提供更快,更安全,更便捷的系统控制和测试操作。隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观