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TS2000-SE Probe System

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是市场上首个具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统,其包含独特的侧面自动装卸功能,这些功能已集成到MPI ShielDEnvironment™中,可进行超低噪声,非常准确和高度可靠的直流/交流、射频和高功率等多应用场景的测试。

特点与优势

  • ShielDEnvironment™

    MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微屏蔽暗箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

     

     

     

     

     

  • ShielDCap™

    MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种组合。

    MPI ShielDCap™便于屏蔽,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

     

     

     

     

     

  • 自动化晶圆装载系统

    该功能提供了非常方便的晶圆装载,并且易于针对自动程序进行预对准。100mm,150mm或200mm晶圆的装卸非常简单直观。

     

     

     

     

     

     

     

  • 安全管理(STM)系统

    独特的STM系统可防止在测试过程中打开正门,以保证测试过程的安全。在高低温度期间,任何情况下都无法打开任何系统门。此外,智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚,系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式,迅速将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过保持安全的测试环境,使TS2000-SE的测量更加安全,可靠和方便。

     

     

     

     

  • 高效率的装卸

    自动化的单晶圆装载机和安全测试管理提供了独特的功能,可以在任何卡盘温度下装载/卸载晶圆,不再需要冷却或加热到环境温度。这样可以节省大量的等待时间,并显着提高MPI测试系统的整体效率。方便的管理员登录过程可保护必要的设置。

     

     

     

     

  • 垂直控制环境(VCE™)

    借助探针尖的自动侧视图– VCE™可使接触位置自动化独立于探针卡的下落。

    这使得使用DC或RF探针卡非常安全,尤其是在MPI ShielDEnvironment™内部。

     

     

     

     

     

     

     

  • ERS专利AC3冷却技术

    MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS专利的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

     

     

     

     

     

     

     

  • MPI THZ选项

    它将TS2000-SE系统转换为专用的mmW和THz探针台,这是市场上的第一个自动化探针台测试系统:

    MPI THZ Selection融合了MPI为TS200-THZ开发的频率扩展器集成创新设计,可将扩展器悬停在整个200 mm晶圆上;

    这将与DUT的距离减至最小,以提供最佳的测量方向性和准确性。

     

     

     

     

  • 温控系统

    温度控制可以通过集成的触摸屏显示器来操作,该显示器位于操作员前方的便利位置,以实现快速的操作和即时的反馈。

    TS2000-SE集成了高性能的振动隔离平台,可在任何实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。可选的仪器架可缩短电缆长度并增加测量动态性和方向性。

     

     

     

     

     
  • 控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,以提供更快,更安全,更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要,可以在必要时控制软件,也可以控制基于Windows®的仪器。