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TS300-SE Probe System

MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)旨在-60至+300°C的温度范围内对300mm晶圆提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪声,低泄漏测量功能环境。 它以最佳高度与防震台结合在一起,使日常操作非常方便。

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    TS300-SE Probe System细节优势

    MPI TS300-SE手动探针台系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触(0µm),分离(300µm)和加载(3mm)的三个抬升位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探针与卡盘对齐。

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    TS300-SE Probe System细节优势

    MPI TS300-SE手动探针台系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触(0µm),分离(300µm)和加载(3mm)的三个抬升位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探针与卡盘对齐。

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    MPI TS300-SE手动探针台系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触(0µm),分离(300µm)和加载(3mm)的三个抬升位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探针与卡盘对齐。

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    MPI TS300-SE手动探针台系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触(0µm),分离(300µm)和加载(3mm)的三个抬升位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探针与卡盘对齐。

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    TS300-SE Probe System细节优势

    MPI TS300-SE手动探针台系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触(0µm),分离(300µm)和加载(3mm)的三个抬升位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探针与卡盘对齐。

  • Lock Position
  • Unlock & Loading Position
  • Separation Position
  • Contact Position with 50 um Hover Height
  • In Contact

特点与优势

  • ShielDEnvironment™

    MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统,可提供超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的测试环境。

     

     

     

     

     

  • ShielDCap™

    MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系统提供多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin配置的组合。

    MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于重新配置,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

     

     

     

     

  • 空气轴承

    MPI空气轴承载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

     

     

     

     

     

  • 独特的卡盘Z调整

    TS300-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率),可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。

    1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈,另外20毫米气动举升机提供了便携式的一键升降程序。

     

     

     

     

  • 多种卡盘选项

    TS300-SE可提供多种卡盘选件,以满足不同的预算和应用要求。

    MPI和ERS共同设计了新型300mm热卡盘AirCool®PRIME技术系列,提供无与伦比的热弹性,温控时间可减少60%,同时还可提供市场上最大的热范围。

    减少转换时间,改善电气性能,使在惰性气体环境下的测试更容易,另外的现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

    卡盘有以下几种型号:同轴、三轴或RF、高压等多种型号,带有两个辅助陶瓷卡盘,可用于精确稳定的校准。

     

     

  • 热控制集成

    晶圆装载门可在低于15°C的任何温度下锁定,此独特功能使TS300-SE成为市场上最安全的手动探针台。

    此外,温控系统可以通过集成式的触摸屏进行操作,该显示器按人体工程学原理安装在探测器上的方便位置,以实现快速调整和即时反馈。

     

     

     

     

     

     
  • ERS专利的AC3冷却技术

    MPI探针台系统均采用ERS专利AC3冷却技术及其空气管理系统,可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。

     

     

     

     

     

  • 各种光学选项

    MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom™SZ10,高达12倍光学变焦的MegaZoom™MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom™EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统,90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。

     

     

  • 独特的升级途径

    MPI旗下全套探针台测试系统均具备模块化设计创造了独特的升级途径。所有TS300-SE探测附件,例如热卡盘,显微镜和定位器,都可以升级或重新配置,以适应涵盖工具寿命的各种应用需求,从而使拥有成本降低。

    具有ShielDEnvironment™的MPI TS300-SE探针系统可提供最大的EMI屏蔽,并允许进行低噪声的器件在片测量,从而可广泛用于各种应用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片级可靠性,失效分析, 设计验证和大功率等。