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TS200-SE Probe System

MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)可提供在-60至+ 300°C的温度范围内提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪声,低泄漏测量功能。

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    TS200-SE Probe System细节优势

    MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

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    MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

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    MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

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    MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

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    MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

  • Lock Position
  • Unlock & Loading Position
  • Separation Position
  • Contact Position with 50um Hover Height
  • In Contact

特点与优势

  • ShielDEnvironment™

    MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的屏蔽系统,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

     

     

     

     

     

     

     

  • ShielDCap™

    MPI ShielDEnvironment™的一个完全可配置的部分,它允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或这些配置的组合。

    MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于多种搭配,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

    完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。

     

     

     

  • 空气轴承

    MPI空气轴承载物台设计,具有简单的单手快速移动控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

     

     

     

  • 独特的卡盘Z调整

    TS200-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率),可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。

    1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈。另外20毫米气动举升机提供了简便的快速升降功能。

     

     

  • 多种卡盘选项

    TS200-SE可提供多种卡盘选件, 以满足不同的预算和应用要求:

    环境卡盘:同轴,三轴或射频、高功率等,RF卡盘独特带有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准;

    -60°C至300°C的多种ERS AirCool卡盘。

     

     

     

     

  • 热控制集成

    晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下简单锁定,此独特功能使TS200-SE成为市场上最安全的手动探针台。

    此外,温控系统可以通过集成式的触摸屏来操作,该显示器放置在操作员面前的便利位置,以实现快速,操作和即时的反馈。

     

     

  • ERS专利的AC3冷却技术

    MPI探针台系统均采用ERS专利AC3冷却技术及其空气管理系统,可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。

     

     

     

     

     

  • 多种光学选项

    MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom™SZ10,高达12倍光学变焦的MegaZoom™MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom™EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统,90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。

     

     

  • 独特的升级途径

    MPI旗下全系列探针台系统均具有模块化设计创造了独特的升级途径。所有TS200-SE探测附件,例如热卡盘,显微镜和定位器,都可以升级或重新配置,以适应涵盖工具寿命的各种应用需求,从而使拥有成本降低。

    具有ShielDEnvironment™的MPI TS200-SE探针系统可提供最大的EMI屏蔽,并允许进行低噪声的器件在片测量,从而可广泛用于各种应用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片级可靠性,失效分析, 设计验证和大功率。