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TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计,例如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,医疗保健设备以及短距离汽车雷达等,其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界首个明确设计的150 mm和200 mm探针系统,可结合毫米波,太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求,以最佳的测量方向性提供准确的测试。
任意最高可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成;
扩展器/调谐器集成的新颖设计,可实现最大的测量动态;
最大的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作。

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    TS150-AIT & TS200-THZ细节优势

    MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

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    MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

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    MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

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    MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

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    MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

  • Lock Position
  • Unlock & loading Position
  • Separation Position
  • Contact Position with 50 um Hover Height
  • In Contact

特点与优势

  • 气浮式移到系统

    MPI独有专利空气轴承载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

     

     

     

  • 卡盘Z调整

    TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利,可以轻松快速地进行设置。

     

     

     

  • 微型定位器

    专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

     

     

     

     

     

     

  • MP80-DX

    市场上另一个MPI开拓性解决方案——独特的MP80-DX,具有低至1µm的Δl,简单、精确的清晰度,是精确且经济高效的多线TRL的理想选择,即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内唯一的RF校准方法。有关更多详细信息,请访问 MPI QAlibria® 软件。

     

     

     

     

  • 各种卡盘选项

    TS200-THZ提供多种卡盘选件,以满足不同的预算和应用要求,例如MPI:

    带BNC连接器的标准RF卡盘;

    专用mmW卡盘,完全内置具有高导热率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷;甚至

    ERS AirCool射频卡盘(从20°C到200°C或更高),带有集成的镀金顶面和小的真空孔。

    所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准,尤其是在40 GHz以上的范围内。

     

     

     

  • 各种光学选项

    提供专用的MPI光学元件  ,可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光学变焦高达12倍,工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制,要求与DUT的距离最短,因此这种显微镜的体积小,非常适合RF和mmW应用。

     

     

     

     

     

  • 扩频器集成

    TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了最大程度地减少到DUT的距离并提供最佳的测量方向性,MPI引入了一种新颖的概念,将扩展器悬停在整个200mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松,便捷和快速地重新配置。