全球首个155mm高频专用探针台，专为高达1.5THz或更高的mmW和THz晶圆上测量而设计；
无缝集成任何高达1.5THz的带 差分或宽带扩频器；最大的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作；
4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。 作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。
• 电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
• 迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
• 载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
• 电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计，例如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，医疗保健设备以及短距离汽车雷达等，其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界首个明确设计的150 mm和200 mm探针系统，可结合毫米波，太赫兹（THz）和自动阻抗调谐器应用的要求，以最佳的测量方向性提供准确的测试。
任意最高可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成；
扩展器/调谐器集成的新颖设计，可实现最大的测量动态；
最大的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作。
MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。
MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。
MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。
MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。
MPI TS200-THZ手动探针系统具有无与伦比的功能。这些高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。
Lock Position Unlock & loading Position Separation Position Contact Position with 50 um Hover Height In Contact MPI独有专利空气轴承载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性，同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。
TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利，可以轻松快速地进行设置。
专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。
市场上另一个MPI开拓性解决方案——独特的MP80-DX，具有低至1µm的Δl，简单、精确的清晰度，是精确且经济高效的多线TRL的理想选择，即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内唯一的RF校准方法。有关更多详细信息，请访问 MPI QAlibria® 软件。
TS200-THZ提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求，例如MPI：
带BNC连接器的标准RF卡盘；
专用mmW卡盘，完全内置具有高导热率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷；甚至
ERS AirCool射频卡盘（从20°C到200°C或更高），带有集成的镀金顶面和小的真空孔。
所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准，尤其是在40 GHz以上的范围内。
提供专用的MPI光学元件 ，可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制，要求与DUT的距离最短，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmW应用。
TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了最大程度地减少到DUT的距离并提供最佳的测量方向性，MPI引入了一种新颖的概念，将扩展器悬停在整个200mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松，便捷和快速地重新配置。
158-2191-4709（陆经理）
139-1847-4527（俞经理）
上海市松江区松卫北路295弄陆国大厦
COPYRIGHT 2017-2020 © 英铂科学仪器（上海）有限公司 ALLRIGHT RESERVED 备案号：沪ICP备18025555号
