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TS150-THZ

MPI TS150-THZ是全球首个150 mm高频专用探针台,旨在对基板和150 mm晶圆进行精确分析。TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用,例如高达1.5THz的宽带,带状波导,次THz,负载牵引和RF噪声。它提供了无与伦比的功能:
• 无缝集成任何高达1.5 THz的宽带,差分或宽带扩频器
• 最大的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作
• 最小化测量路径以获得最佳的测量方向性

特点与优势

  • 卡盘移动系统

    TS150-THZ具有10mm的精确卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。 在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案进行设置时极为有利,可以轻松快速地进行设置。

     

     

     

     

     

  • MicroPositioners的多种配置

    专用且极坚固的探针压板设计可容纳两个东西方向固定的MP80大面积MicroPositioner。 通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

     

     

     

     

  • 探针座系统

     

     

    独特的MP80-DX具有低至1µm精确的清晰度,搭配三丰数显千分尺。

     

     

     

     

     

  • 成像系统

    可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光学变焦高达12倍,工作距离超过45毫米。由于集成测试头/调谐器固有的空间限制,要求与DUT的距离最短,因此这种显微镜的体积小,非常适合RF和mmW应用。

     

     

  • 多种卡盘选项

    TS150-THZ提供多种卡盘选件,以满足不同的预算和应用要求,例如MPI的标准RF,带BNC连接器;专用mmW 卡盘,完全内置具有高导热率(> 180W / Km)的特殊陶瓷;ERS AirCool射频卡盘(温度范围从20°C到200°C,或更高),带有集成的镀金顶面和小的真空孔。每个卡盘包括两个用陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准。低于THz的配置可获得卡盘提升选项。

     

     

     

     

     

  • TS150-THZ的模块化设计概念为降低拥有成本提供了独特的升级途径。