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发布时间:2021-07-06   浏览:

低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量,广泛应用于半导体工业(芯片、晶圆片、封装器件)、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。

为了提高系统的实用性,系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

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