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详解四探针测试仪原理和组成
发布时间:2022-04-17   浏览:

多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国A.S.T.M标准。

仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。

主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;电压电流全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能,zui大分类10类。

探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台,也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率,选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

基本技术参数

1.测量范围、分辨率(括号内为可向下拓展1个数量级)

电阻:10.0×10-6~200.0×103Ω,分辨率1.0×10-6~0.1×103Ω

(1.0×10-6~20.00×103Ω,分辨率0.1×10-6~0.01×103Ω)

电阻率:10.0×10-6~200.0×103Ω-cm分辨率1.0×10-6~0.1×103Ω-cm

(1.0×10-6~20.00×103Ω-cm分辨率0.1×10-6~0.01×103Ω-cm)

方块电阻:50.0×10-6~1.0×106Ω/□分辨率5.0×10-6~0.5×103Ω/□

(5.0×10-6~100.0×103Ω/□分辨率0.5×10-6~0.1×103Ω/□)

2.材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直径:SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15~130mm,手持方式不限

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.

长(高)度:测试台直接测试方式H≤100mm,手持方式不限.

测量方位:轴向、径向均可

3.量程划分及误差等级

满度显示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

常规量程

kΩ-cm/□

kΩ-cm/□

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

---

       

zui大拓展量程

---

kΩ-cm/□

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

mΩ-cm/□

       

基本误差

±2%FSB

±4LSB

±1.5%FSB

±4LSB

±0.5%FSB±2LSB

±0.5%FSB

±4LSB

±1.0%FSB

±4LSB

       

4.工作电源:220V±10%,f=50Hz±4%,PW≤5W

5.外形尺寸:245mm(长)×220mm(宽)×95mm(高)

净重:≤1.5~2.0kg

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本文关键词:

探针台 四探针测试仪 探针台原理组成


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