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详解半自动探针台的技术指标及功能
发布时间:2022-04-11   浏览:

半自动探针台技术指标

支持4,5,6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口,可同时输出(测量)四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。

半自动探针台主要功能

通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接,组成一个测试平台,完成对器件封装前的电性能测试(电阻,C/V,击穿特性等)。

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    英铂科学仪器(上海)有限公司是一家专注于半导体晶圆级测试系统、微纳米科学等领域提供综合性解决方案的企业,为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体测试系统及微纳米科学仪器设备,助祖国半导体科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力!

      目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体晶圆级测试系统、微纳米加工等科学仪器的企业。在半导体晶圆级测试系统方案、微纳加工设备,微纳表征设备,微纳领域耗材,微纳加工及测试,微纳周边产品等相关领域,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前、售中、售后的全方位服务。总部位于上海,并在北京、深圳成立了办事处,于武汉、西安、成都、合肥、沈阳等地成立了5个售后服务网点。

      未来公司将不断推荐和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品,同时也与全国各所著名的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系,致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。


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