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详解探针台和点针工作站的操作步骤
发布时间:2022-04-08   浏览:

一.探针台操作步骤:

1.将测试产品放入探针台的台盘上;

2. 打开显微镜光源灯(LED或光源机);

3.打开背光面板光源开关;

4.调整Z axis高度对焦,使能清楚看到样品图象为OK;

5.调整目镜和Zoom倍率,使影像清晰;

二.点针操作步骤:

1. 通过移动镜头组部分找到Sample 要下针的地方;

2. 调整针座位置,将三轴归零;

3. 调整针座仰角机构,使针尖位于显微镜射出光斑中央上方1-2mm处;

4. 利用低倍镜头找到针尖,将针尖移至视野中央位置并通过调整焦距使针尖达到*清晰;

6.切换至高倍镜头,找到针尖;

7.利用针座的X-Y-Z 轴微调下针;

8.量测完毕后,逆时针旋转针座的仰角机构的旋钮快速将针往上抬起,针尖即可移开Sample;移动针座平台或者显微镜相关移动机构时,请注意小心避免与镜头或被测品碰撞

9. 移开针座,取出Sample.

10.关闭背光面板光源和光源灯等电源.

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本文关键词:

探针台 点针工作站 失效分析测试设备 探针台操作步骤


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