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手动晶圆级探针台系统(微屏蔽)TS300-SE Probe System
发布时间:2022-01-19   浏览:

MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪声,低泄漏测量功能环境。 它以最佳高度与防震台结合在一起,使日常操作非常方便。

适用于多种晶圆量测应用

• ,如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支援飞安级低漏电量量测

• 内置防震系统

• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

探针台特点与优势

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统,可提供超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的测试环境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系统提供多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种搭配测试组合。

MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于重新配置,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

空气轴承

MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

独特的卡盘Z调整

TS300-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率),可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。

1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈,另外20毫米气动举升机提供了便携式的一键升降程序。

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本文关键词:

手动探针台 探针台 晶圆级探针台


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