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全自动晶圆级探针台系统TS2500 Series Probe System
发布时间:2021-11-25   浏览:

MPI的200毫米/8寸全自动探针台系统系列是专门为解决射频(RF)和大功率晶圆测试而开发的,该系统旨在实现24/7的生产可靠性,并与所有MPI系统附件兼容。

优势:

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用

• 射频量测 - 至高 67 GHz

• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测

• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头

• 可支持配至薄50um薄晶圆选项

• 可支持温度区间:20℃到300℃

全自动晶圆级探针台系统TS2500特点与优势

薄晶圆处理

TS2500 RF卡盘独特的设计可以安全地处理厚度最小50微米的晶圆,从而能够测试具有挑战性的III-Vs化合物薄片。射频卡盘包括两个完全由特殊陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准。辅助卡盘也可以用来固定探针清洁材料。

自动化装卸系统

自动化包括双末端执行器和双晶圆盒,适用于150或200mm晶圆,可提供高效率的晶圆交换并提高测试速度。TS2500的最高速度可以达到10 Die /s(取决于最终系统配置),使其成为在高功率,分立RF器件以及集成电路(IC)上进行生产电气测试的理想选择。

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本文关键词:

全自动探针台 晶圆级探针台 TS2500


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