探针台在大气环境下的探针台组件构成都有什么？返回列表
各标准类大气环境下的探针台组件构成如下：
1)•探针台本体-用于支撑显微镜以及放置探针座的台体，可放置不同精度及不同应用的探针移动装置，即探针座，主体结构的设计采用了高精度机械加工组件，在设计上考虑振动对电学、磁学、光学测量的影响，采用了底部二层板的设计，结构合理，稳定性强，可搭配各类探针台应用组件;
2)•样品真空吸附固定载物台Chuck卡盘-一般为圆形(方型可选)，根据样品尺寸可选择载物台尺寸，如4"、6"、8"、12"，在台面可放置被测晶圆、各类电子元器件、材料等样品，利用真空吸附固定各类样品，搭配静音低振动真空泵工作;不同尺寸卡盘上具有多层吸附孔，对于各类尺寸样品均可固定，卡盘可进行X/Y方向移动，Z轴方向上下升降，和THETA 方向可调;设计了快速升降结构，可实现对样品精确定位以配合点针操作;其中Chuck卡盘可根据温度要求，选择加热或低温制冷卡盘，一般标准类大气环境下选择使用加热卡盘居多，温度范围：-60度至200度/300度/或其它，带有温控装置，温控精度0.1度;需要说明的是低温卡盘的选择一般为真空探针台配置，因低温时在大气环境下卡盘会有结箱现象，这样会影响样品的测试;
3)•显微成像装置– 一般根据用户需要点针操作的样品分辨率来选择，配套组件包括：显微镜主体、物镜、视频成像装置以及粗微调装置;如样品分辨率要求在40微米以下，建议使用体式类显微镜，价格相对较低，如果要求更高分辨率，由可选择长焦金相显微镜，分辨率达微米级;对于视频成像的选择，可选C-MOS或CCD成像装置;
4)•探针座– 配置选择根据移动精度可选<0.7微米的M20型探针座，或<5微米的M30,M40型探针座;根据高频测试或超大电流应用可选择M60型高频探针座;
5)•探针杆– 用于固定探针并连接到测量仪器，根据漏电流的要求进行选择，一般分为弹簧式及管式，其中一端固定探针，另一端与半导体测量分析设备相连接，常见的Triax/BNC/SMA等连接接口。根据微弱信号测试，如nA/pA/fA级弱电流检测和射频微波信号测量，需要使用不同类型的探针杆;
6)•探针-主要分为DC(直流)探针与高频探针。DC(直流)探针主要根据样品Pad的尺寸等来选择，针尖直径(0.2um-200um)、探针形状(直针、弯针)与材料(金属钨或铍铜合金、铼钨合金，铱合金等)可选。常用的直流测试使用钨材质直针，直接可选(1微米至20微米或其它)。
7)•其他附件– 以上为标准探针台的基本组件，其它组件可选：
a.屏蔽箱--隔离电磁波与光干扰，提高测量精度;
b.防震台--减少外围环境带来的振动影响;
c.探针卡--可提高检测效率;应对特殊测试要求的挑战，如高频，高压，大电流，高温，参数散布要求高的场景。
d.各类转接头--可连接不同测试分析设备;
e.射频/微波探针--可测试除DC直流外的信号;
f. 真空泵
g. 测试线
h. 安全联锁装置
