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2022-02-19 英铂科学仪器（上海）有限公司

DC & RF Probe ArmsMPI提供了完整的探针臂产品组合，如：• 同轴• 三轴• 高压版本• 开尔文• 射频所有这

DC & RF Probe Arms

MPI提供了完整的探针臂产品组合，如：

• 同轴

• 三轴

• 高压版本

• 开尔文

• 射频

所有这些都能在高达300°C的温度下运行

简便，快速且无需工具

所有标准MPI探针臂均采用适用宽温度范围(-60°C…300°C)的不锈钢管设计开发，并由独特的通用探针支架固定，可轻松，快速且免工具更换针杆：

高度和角度调整。

更换探针臂，适用于各种不同的设置。

通用探头支架与所有MPI MicroPositioner兼容。

MPI MicroPositioners

MPI提供了各种各样的无间隙微定位仪，以解决各种操作和测量条件。从小尺寸到用于射频和毫米波应用的微米驱动高分辨率定位器都包括在内。

接触性能

统一的Z方向，符合人体工程学的操作以及具有极强夹持力的磁性底座，可以进行精细的探头放置，从而实现高接触质量，产生无与伦比的测量结果。

MPI MicroPositioner的通用探针接口设计为与所有探针臂兼容，从而简化了应用程序的特定适应性。设计品种允许操作员选择适合其操作熟悉程度的MicroPositioner，从而立即熟练使用。

轻松升级

MPI自行开发的MicroPositioner的设计毫不含糊。全碳钢结构可实现长时间稳定的接触和出色的定位精度。

Chuck System

对于不同的要求，MPI提供了多种：

· 同轴

· 三轴

· 射频

· 毫米波

· 大功率夹头

· 从环境温度到-60°C至300°C

可用选项的示例包括带有真空孔的专用顶表面，镀金或纯绝缘材料制成的表面。创新的思维和技术专长使MPI设计与众不同，并且基于特定应用程序的实际需求。

ERS集成技术(IT)

在不同温度下进行晶圆探测仍然是一个重大挑战。MPI与ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供热卡盘的统一软件和硬件集成。新的集成技术(IT)负责：

· 测量结果

· 减少维护

· 出色的热特性

· 较快的过渡时间

· 更好的系统平坦度

· 在整个温度范围内具有出色的热分布

MPI和ERS AirCool®PRIME技术

MPI公司和ERS电子有限公司共同设计了新型300mm热卡盘AirCool®PRIME技术系列，可将浸泡时间减少60%。

这些系统可以配置为具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的较低温度起点，并具有200°C或300°C的较高终点，所有这些都是为了适应不同的需求和预算。AirCool®PRIME 技术可以在没有冷却器的情况下在-10°C下进行测试，或者使用非常小的冷却器在-40°C下进行测试，从而使系统极具成本效益，降低了总体测试成本。

减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME 热卡盘系统的附加价值。