特点与优势

•          Elite Etch Cu配置了一个酸控制器刻蚀头，它是由优质碳化硅材料制造的，具有无与伦比的耐酸性。刻蚀头设计用于降低在开封工艺结束时残留在刻蚀头上残留酸的烟化现象,对于操作员更加安全，并且对酸的清洁也更方便。器件压制组件（压杆芯头）是气动激活的推杆。压杆芯头正常状态时缩回，当安全罩完全关闭时伸出。当刻蚀罩盖下以后，压头自动从上到下直线移动，沿垂直方向直接将固定样品或治具安全地固定刻蚀头上，可以完全消除被刻蚀器件和治具的移动。
   
   
   
  

   

• Elite Etch Cu 在瓶子容器和开封器之间的所有流体接口都采用双重密封。瓶子容器组件和刻蚀机内部都配置了流体传感器，如果出现任何酸瓶或内部装置的酸泄漏，都会立即向操作员发出漏酸警 报。瓶子容器采用了通用的旋转互联，使得酸瓶更换非常简单以最尽量避免接触残酸。

   

   

   

  

   

   

   

  

• Elite Etch Cu开封机采用自动高低压气体转换系统和安全盖内部安全气压补充，确保操作员安全，并且更加节省N2气消耗。设备采用光 纤感应传感器检测开封时刻蚀罩盖上后的密合度。

  废酸收集采用了独特的冷却热交换系统，可将废酸冷却至90℃及以下，用于将废酸收集在一个废酸瓶内，而无需两个废酸瓶以及硝酸硫酸转换阀。单独的手持式键盘控制，可以在通风厨外面 进行控制避免酸对控制面板和电路的腐蚀。

   

   

  

   

   

  

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