特点与优势

• 极佳重复性与线性度

  •   采用直动式检测方式

  •   可避免圆弧补正误差

  •   可避免Bearing间隙误差

  •   台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

  •    Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

   

   

   

  

• 高分辨率

  • 纵轴最高分辨率0.1nm

   

  • 横轴最高分辨率0.1um

   

  • X测定速度可调：5μm~2mm/s

   

   

   

  

• 低测定力

   

  • 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定

   

  • 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

   

   

   

   

  

• 真直度保证-1

   

   

   

   

  

• 线性尺与时间取样

   

   

   

  

• 形状及粗度解析结果

   

   

   

  粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种

  

• 成交客户(包括但不限于)