全球首个155mm高频专用探针台，专为高达1.5THz或更高的mmW和THz晶圆上测量而设计；
无缝集成任何高达1.5THz的带 差分或宽带扩频器；最大的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作；
• 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震
• 独特的直动式传感器设计
• Z方向分辨率0.1m；重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
• Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）
• 样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
• 高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向最大测量长度100mm，Y方向最大移动150mm
• 选配三维测量功能
• 采用直动式检测方式
• 可避免圆弧补正误差
• 可避免Bearing间隙误差
• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)
• 纵轴最高分辨率0.1nm
• 横轴最高分辨率0.1um
• X测定速度可调：5μm~2mm/s
• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定
• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种
上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层
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