
Kosaka 6寸台阶仪 ET200A
• 设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震
• 独特的直动式传感器设计
• Z方向分辨率0.1m;重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)
• 样品台的垂直直线度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
• 高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm
• 选配三维测量功能