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Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

• 设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震
• 独特的直动式传感器设计
• Z方向分辨率0.1m;重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)
• 样品台的垂直直线度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
• 高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm
• 选配三维测量功能

特点与优势

  • 极佳重复性与线性度

    •   采用直动式检测方式

    •   可避免圆弧补正误差

    •   可避免Bearing间隙误差

    •   台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

    •    Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

     

     

     

  • 高分辨率

    • 纵轴最高分辨率0.1nm

     

    • 横轴最高分辨率0.1um

     

    • X测定速度可调:5μm~2mm/s

     

     

     

  • 低测定力

     

    • 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定

     

    • 可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

     

     

     

     

  • 真直度保证-1

     

     

     

     

  • 线性尺与时间取样

     

     

     

  • 形状及粗度解析结果

     

     

     

    粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种

  • 成交客户(包括但不限于)