探针台,测试耗材 - 英铂科学仪器(上海)有限公司 - 英铂科学仪器（上海）有限公司

MPI 探针台

全球首个155mm高频专用探针台，专为高达1.5THz或更高的mmW和THz晶圆上测量而设计；
无缝集成任何高达1.5THz的带差分或宽带扩频器；最大的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作；

MPI 高功率探针台系统
TS150-HP & TS200-HP TS2000-HP Probe System TS2000-DP Probe System
MPI 手动晶圆级探针台系统（微屏蔽）
TS200-SE Probe System TS300-SE Probe System
MPI 全自动晶圆级探针台系统
TS2500 Series Probe System TS3500 Probe System
MPI 半自动晶圆级探针台系统
TS2000 Probe Systems TS2000-SE Probe System TS3000 Probe System TS3000-SE Probe System SiPH Probe System
MPI SENTIO Software Suite
MPI NoiseShield
NoiseShield™
MPI 测试系统选件
DC & RF Probe Arms MPI MicroPositioners Chuck System
MPI 手动晶圆级探针台系统
TS150&TS200&TS300
MPI 手动晶圆级太赫兹探针台系统
TS150-AIT & TS200-THZ TS150-THZ

R&S 罗德斯瓦茨

● 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间

● 业内第一台内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工程师提供，分为4

种语言，缩短学习周期

● pin to pad接触检查，确保测量可靠

● 多种测量功能

● 数据显示、分析和代数运算功

网络分析仪
R&S®ZNB 矢量网络分析仪 R&S ZNA矢量网络分析仪

测试仪表

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。

Keithely 4200A-SCS

全自动半导体参数分析仪系列

Tektronix 示波器系列

矢量接收机负载牵引系统

噪声参数测试系统

脉冲I/V测试系统

PNA网络分析仪 N5291A

FS-Pro 半导体参数测试系统

低温磁场探针台

该系统提供了一个经济的, 稳定的, 可靠的超低温和强磁场环境用于微纳器件和芯片的测试。得益于优异的振动隔离、热力学，使这套系统应用非常广泛，横跨纳米电子学自旋电子学 , 分子电子学等。

LRT-001 微型探针冷热台

纳米探针台

超低温磁场探针台

三维磁场探针台

超低温半自动探针台

快速高低温系统

ThermalAir TA-5000系列温度强制系统将精确的热测试功能直接带到测试应用中，精确地定位在需要热调节温度循环的地方。 ThermalAir TA-5000温度系统为一系列产品和技术提供灵活的热测试解决方案。

TA-5000A

ICE低温恒温器

稀释制冷机

300mK He-3低温恒温器

1.5K系列低温恒温器

ICE 4k/10k系列恒温器

Vcsel光电测试系统

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上海市高新技术企业
上海市“专精特新”企业

RA-880激光开封机汇聚了几十年专业知识与沉淀的创新设计。设备底座由稳固的机械机构组成，所有轴全由CNC控制。

Elite Etch Cu 化学开封机

RA-880 激光开封机

霍尔效应测试

• 电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
• 迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
• 载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
• 电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance

霍尔效应测试系统ezHEMS

霍尔效应测试系统HEMS

振动样品磁强计VSM

台阶仪

• 可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯 NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告
• 超高垂直直线度精度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力

Kosaka 6寸台阶仪

Kosaka 便携式台阶仪

Kosaka 粗糙度轮廓仪

测试耗材

MPI公司通过引入TITAN-RC探针来扩展RF TITAN探针的系列。新的探针模型的特点是触头宽度减小了33％，减小到20μm。
TITAN™探针技术的最强功能之一是其均匀的磨损,由于独特的探头设计，其电气特性保持不变。因此，TITAN™探针的使用寿命超过了同类探针技术的使用寿命。

TITAN™ 探针技术

TITAN™多触点探头

MPI RF Calibration Substrates

MPI QAlibria®

MPI射频电缆配件

封装器件测试夹具

磁场产品

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螺线管磁体

三维电磁铁（矢量电磁铁）

电磁铁（C型）

Afore产品

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EVS Probe Card

FCB Prober Card

Cantilever Probe Card

Hanwa产品

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Hanwa HED-W5000M

Hanwa HED-T5000

Hanwa HDE-C5000R

Hanwa HED-N5000

Hanwa HCE-5000

HPPI

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