半自动探针台技术指标 - 英铂科学仪器（上海）有限公司

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04-11 2022

详解半自动探针台的技术指标及功能

半自动探针台技术指标支持4，5，6寸wafer 分辨率0 25um 提供4个SMU接口，可同时输出(测量)四路直流信号。每个SMU最大输出电压100V(-100 ...

2022-04-11

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