功率器件的IV、CV特性测试方案
概述

电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数,为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况,需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种,其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此,目前检测半导体材料电阻率,尤其对于薄膜样品来说,四探针是最常用的方法。

溪谷科技开发的四探针法测量半导体电阻率的测试方案,采用美国吉时利公司的高精度源表(SMU),可以在输出电流时测试电压,也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控,测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔文模式,适用于四探针测试,可以简化测试连接,得到准确的测试结果。

上位机软件CycleStar指导电阻率测试步骤,测试方法清晰明确,即使不熟练的工程师也能迅速掌握测试方法。

内置电阻率计算公式,测试结束后直接从电脑端读取计算结果,方便灵活的做后续处理分析系统主要由源测量单元、探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或者后面板三同轴接口连接到源表上。