超低温半自动探针台



半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、

4.5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、

经济地进行测试。低温探针台,设计用于支持在真空或气体环境中对

高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。f5cde9c268d118fa405ee43902370c5f.png

系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿

的多功能平台上,能够配置来各种测试应用程序。
























Features



· 可用于高达100mm、150mm和200mm的晶圆测试

· 可配置4或6个探针臂。

· 还可以选择探卡进行测试

· 显微镜选择包括7:1,12.5:1和16:1数码变焦显微镜

· BNC, Triax, DC pin and RF 可选 

· 用于探针微米级定位的高分辨率探针臂

· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可选

· RF选件包括可定制的RF探头、RFchunk和屏蔽罩系统

· 具有良好的隔振性能