低温磁场探针台



半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、

4.5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、

经济地进行测试。低温探针台,设计用于支持在真空或气体环境中对

高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。f5cde9c268d118fa405ee43902370c5f.png

系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿

的多功能平台上,能够配置来各种测试应用程序。


























MPS-C-350 是世界上第一个可以完全将样品放在可控三维磁场进行测试的探针台 ,729deb1596a36d6d543c835470840430.png

 MicroXact独特的专利的设计使自旋电子器件、纳米电子器件和许多其他材料和器

件的晶圆级测试成为可能。


























提供了一个经济的, 稳定的, 可靠的超低温和强磁场环境用于微纳器件545e5ee5a5919e7bd63e12033a187a35.png

和芯片的测试. 得益于优异的振动隔离、热力学,使这套系统应用非常

广泛, 横跨纳米电子学 (自旋电子学 , 分子电子学等.) 系统使用闭循

环制冷机和优异的热力学设计,特别设计的低振动系统,达到行业的

最优标准。超稳定的位移台为探针扎针测试提供一个可重复的测试结

果. 可选则性的探针 和 wafer chucks 提供了超精密 fA-级测试。


系统可进行DC/RF/毫米波/光纤等多种光电定位性能测试。













Features



· 可用于高达100mm、150mm和200mm的晶圆测试

· 可配置4或6个探针臂。

· 还可以选择探卡进行测试

· 显微镜选择包括7:1,12.5:1和16:1数码变焦显微镜

· BNC, Triax, DC pin and RF 可选 

· 用于探针微米级定位的高分辨率探针臂

· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可选

· RF选件包括可定制的RF探头、RFchunk和屏蔽罩系统

· 具有良好的隔振性能


Features



· 磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。

0117c4e166886a7251b7495ca325e316.jpg

· Wafer size:10mm,可升级到200mm 

· 磁场:方向任意三维最大6kOe (0.6T)

· 定向精度+/- 1.0

· 在10mm直径范围内的均匀性+/- 2%      

· 稳定性优于0.1%

· 频率范围:DC to ~ 67GHz

· 分辨率:200mG

· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.

· 运动范围:100mm x 100mm

· 集成MPS系列软件,可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频。


a1583eb007d4e59190a482104ee81f7e.jpg4578b3fdb47f20f1419bf85ac42201d2.jpg







主要技术指标




-   高的性价比, 稳定,可靠,使用方便                        -   在探针上独特的热沉设计01181056b25ec969f0f3cb7215dac3d8.png

-   温度范围 10K -400K                                        -   样品座和防辐射屏温度可控

-   4.2K- 480K (可选)                                            -   窗口(高纯石英-其他材质可选)

-   闭循环制冷,无需消耗液氦                               -   高频减震系统

-   样品座尺寸: 1英寸( 2英寸可选)                       -   可提供垂直、水平以及多维磁场垂直方向可达到5T,

-   DC - 325GHz 、HP、光纤臂可选                          水平方向达到1T以及1T的多维磁场配置

-   4个探针臂 (最多可选配6个探针臂),                   -   系统集成Labview软件,可方便被客户进行仪表端集成

高精度XYZ and 可选 θ 旋转调节





如果以上不能满足您的测试需求,我们将会提供高水平的定制服务