Kosaka 8寸台阶仪
ET4000A

极佳重复性与线性度

•  采用直动式探针;

•  可避免圆弧补正误差;

•  可避免Bearing间隙误差;

•  段差测定再现性;

•  1σ 0.2nm以内,但实际高速测试中可达0.1nm

高分辨率

•  纵轴最高分辨率0.1nm;

•  横轴最高分辨率0.1um;

•  X测定速度可调:5μm~2mm/s;

低测定力

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定;

• 可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

超高垂直直线度

• 可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂皆有出厂测试认证报告;

• 超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。

真直度保证-1

线性尺与时间取样

形状及粗度解析果

粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;

成交客户(包括但不限于)