Kosaka 6寸台阶仪
ET150 产品特性

•  设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震;

•  独家专利的直动式传感器设计;

•  Z方向分辨率0.1m;重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm;

•  Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A);

•  样品台的垂直直线度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

•  高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm;

•  选配三维测量功能。

极佳重复性与线性度

•  采用直动式检测方式;

•  可避免圆弧补正误差;

•  可避免Bearing间隙误差;

•  台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm;

•  Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)。

高分辨率

•  纵轴最高分辨率0.1nm;

•  横轴最高分辨率0.1um;

•  X测定速度可调:5μm~2mm/s;

•  可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等。

超高垂直直线度

• 垂直直线度:任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度;

• 可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂皆有出厂测试认证报告;

• 超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。

超高垂直直线度的优势

位移光栅尺与时间取样

ET150绝佳的设计 达到最佳的测量效果

•  设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震

  → 最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性

•  直动式检测器

  → 最佳的测量重复性&线性度,确保各样品台阶测量的精度、准确度

•  样品台超高的垂直直线度保证

  → 进一步提高台阶测量精度,确保样品形状不变形

•  样品台X方向光栅尺定位,最长测量距离100mm,最快测量速度5μm/s

  → 样品周期性结构不失真,长距离有利于测定多种国际参数

形状及粗度解析果

粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;

超大测定力范围

•  测定力在 10 ~ 500uN、    1~50mgf 可任意设定;

•  可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

成交客户(包括但不限于)