Keithely 4200A-SGS
主要性能指标
I-V 源测量单元 (SMU)

●  ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

●  100 fA 测量分辨率

●  选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率 ●  10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

●  四象限操作

●  2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVU)

●  AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

●  1 kHz - 10 MHz 频率范围

●  ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源,可以扩展到 ± 210 V (420 V 差分 )

●  选配 CVIV 多功能开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

●  两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道 ●  200 MSa/s,5 ns 采样率

●  ±40 V (80 V p-p),±800 mA

●  瞬态波形捕获模式

●  任意波形发生器 Segment  ARB® 模式,支持多电平脉冲 波形,10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元 (PGU)

●  两个高速脉冲电压源通道

●  ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

●  任意波形发生器 Segment  ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率

I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

●  在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或 抬起探针

●  把 C-V 测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针

远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

●  在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动 切换

●  把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

●  降低电缆电容效应

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亲眼见证创新! 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪,4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM基于GUI的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试,Clarius Software可以更深入地挖掘研究过程,快速而又满怀信心。
4200A-SCS参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。

为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪

使用强大的 Clarius 软件,可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试,结果清晰明了

4200A-SCS 仪器和模块

提取或测量参数列表实例

1. Clarius Software 实时结果和参数
自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所 需信息的速度。您不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。全新Clarius Software用户界面,您可以把对科研的理解提升到全新水平。4200A-SCS包括 Clarius+软件包,可以执行几乎任何类型的 I-V、C-V 和脉冲式 I-V特性分析测试。Clarius Software用户界面提供了触滑或点击控制功能,为现无需示波器检验脉冲测量代半导体、材料和工艺特性分析提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。

主要特点 ● 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件,缩短测试开发时间
● 业内第一台内置测量视频的仪器,测试视频由全球应用工程师提供,分为4种语言,缩短学习周期
● pin to pad接触检查,确保测量可靠
● 多种测量功能
● 数据显示、分析和代数运算功能

专家视频,降低特性分析复杂度 观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频,迅速掌握应用,缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助,在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时,将为您提供指引。Clarius Software短专家视频支持四种语言(英语、中文、日语和韩语),可以迅速让你洞察先机。

大量随时可以使用的应用测试可供选择 通过Clarius库中装备的450多项应用测试,您可以选择或修改预先定义的应用测试,加快特性分析速度,或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步,Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。

实时结果和参数 自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所需信息的速度。您不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。

无需示波器检验脉冲测量 脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数,确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式,进行基于时间的电流或电压测量,而无需使用外部示波器。

典型应用

  • MOSFET, BJT 晶体管
  • 材料特性分析
  • 非易失性存储设备
  • 电阻率系数和霍尔效应测量
  • NBTI/PBTI
  • III-V 族器件
  • 失效分析
  • 纳米器件
  • 二极管和 pn 联结
  • 太阳能电池
  • 传感器
  • MEMS器件
  • 电化学
  • LED和OLED

构建测试方案

在Clarius库的450多种预先定义的应用测试和项目中搜索、过滤及选择所需测试项。