MPI 手动直流/射频探针台

MPI TS150、TS200、TS300每一款都包含许多令人兴奋的功能, 使日常操作更简单、直观、方便, 同时确保了高精度测量。

Unique Platen Lift with Probe Hover Control 具有探头悬停控制的独特控制技术

测量精度首先取决于接触质量。高度可精准重复的 (1 um精度) 针座台设计与三个独立的档位划分:接触(0μm)、分离 (300 um) 和载片 (3 um) 与安全锁设计是目前市面上绝无仅有的功能。这些功能防止意外损坏探针或晶圆, 同时提供直观的控制和准确的接触定位,这种能力在高频和大功率应用中尤其重要, 以达到最准确的测量结果。

对于 TS200 和 TS300,还可以额外提供带有悬停高度 (50,100 或 150 um)的装置, 可轻松方便地使探针与待测样品电极对齐。

Height Adjustment Scale 高度精调设计

针座台有25mm 的精细高度调整, 可以应对各种应用. 1mm 精确刻度给出了探针离开样品的直接位置反馈。

Compact and Rigid Platen Design 紧凑、灵活的针座台

紧凑、灵活的针座台可容纳多达10组直流或4组射频针座,可满足各种应用要求。

Various Chuck Potions 丰富的样品台规格选择

手动系统可用各种卡盘选项来满足不同的预算和应用要求. 卡盘选项包括 MPI 的同轴或三轴样品台或各种ERS高低温卡盘, 以支持高达300度的温度测量。并包含无缝集成的加热台控制器, 方便快捷的阅览和操作。

Auxiliary Chucks 辅助卡盘

射频卡盘还包括两个内置的陶瓷材料做成的辅助卡盘, 用于精确的射频校准。

Various Optic and movement Choices 多样的显微镜选择

提供多种光学显微镜的选择,包括所有常见的体式显微镜、单筒金相显微镜、金相显微镜或负载牵引配置。

Optic Tilting 显微镜倾斜功能

显微镜可以进行90度的倾斜, 并且是气动驱动, 加上Z 轴方向上的精调功能,可以提供非常方便的扎针和更容易的探针更换。

Vibration Isolation Platform 内置隔振平台

所有的手动系统包括吸振基座, 以实现稳定可靠的探针与样品的长时间接触, 确保可靠的测量结果. 隔振平台或工作台可选配不同的型号,以满足实验室环境需要。

Dark Box 屏蔽箱

可用的屏蔽选项为超低噪声直流测量提供了 EMI 光电磁屏蔽环境。