MPI 半自动12寸直流/射频探针台
MPI TS3000-SE with ShieIDEnironmen

TS3000-SE是 TS3000 探针系统的进一步发展, 以 MPI 系统为超低噪声. 非常准确和高度可靠的 DC/CV,1/f RTS 和 射频测量, 主要解决设备特性的需要,晶片级可靠性和射频和毫米波应用。

独特主动冷却探头板设计提供了最大的稳定性, 在宽温度范围从-60度到 300度, 使 TS3000-SE 探头系统成为不同热条件下测试设备的绝佳选择。

Probe hover control 探头悬停控制

Probe hover control  探头悬停控制 MPI 探针悬停控制 PHC 允许手动控制接触和分离距离, 可以精确地控制与微米反馈探针探针的晶片/垫定位. 易于使用通过在关键设置和探头更换操作期间最小化错误来保证最安全的操作。

Easy wafer loading 易晶片装载

双前门通道和独特的卡盘设计, 使150、200、300毫米硅片碎片或小到 4 * 4 毫米 IC容易装卸程序。

辅助卡盘都位于前面, 可以很方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于校准和探针卡清洁的简单自动化方法。

Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板

Integrated hardware control panel  集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 根据数十年的经验和客户交互设计, 提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作. 键盘和鼠标是战略定位控制软件, 也将控制基于 windows 的仪器。

Thermal chuck integration 热卡盘集成

由于智能冷水机组集成, TS3000 系列为节省实验室宝贵空间提供了最佳的足迹。

MPI和ERS设计了新的300毫米热夹头技术家庭,提供了无与伦比的热弹性,减少了60%的浸泡时间,以及市场上最大的各种热范围。

减少过渡时间,改善电气性能,在惰性气体环境下更容易测试,以及现场可升级性是主要热卡盘系统的附加值。

热系统可以通过使用全集成触摸屏显示,置于方便的位置,在操作前快速操作和即时反馈。

ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却

这些卡盘包含了专利的AC3冷却技术和自人类管理系统,使用循环冷却空气净化MPI保护环境,从而大大减少了市场上其他系统的30% - 50%的空气消耗。

Safety test management (STM) system 安全测试管理系统

独特的STM系统在测试测量结果时防止门打开是安全的,在任何情况下都不可能在负的卡盘温度中意外开启任何系统。此外,智能露点控制程序避免了冷测时的灵敏度。系统自动监测CDA或氮的流动。如果流量中断或不足,STM自动将卡盘转换为安全模式,在露点以上尽快加热卡盘。MPI STM是通过自动维护安全的测试环境,使TS 3000 -SE测量更安全、更可靠、更方便的特性。

Instruments integration 设备集控

可选的仪表架可减少电缆长度,增加测量的动态性和方向性。

oftware suite SENUIO 软件套件SENUIO

MPI自动化工程探测系统由一个独特的和革命性的,多点触摸操作SENTIO软件套件简单直观的操作将节省大量的训练时间,滚动变焦,模仿现代智能移动设备和移动命令可以让每个人都成为一个专家在几分钟.Switching活动应用程序与应用程序的其余部分是一个简单的手指扫描的问题。

对于射频应用,不需要切换到另一个软件平台——MPI射频校准软件程序QAlibria完全集成到感知器中,通过遵循单一的操作概念方法,便于使用。