MPI 半自动8寸直流/射频探针台

TS2000-SE主机

ERS AirCool制冷低温系统主机

测量差异

MPI公司出品的TS2000-SE 型8寸半自动晶圆测试探针台是市场上有史以来第一次为200毫米自动化工程探测系统在集成创新的特点专门设计。这些特性是纳入MPI ShielDEnvironment™为超低噪音,非常准确和高度可靠的DC/CV, RF和高功率测量。

The TS2000-SE from MPI is the first ever 200mm automated engineering probe system on the market integrating innovative features specifically designed to reduce the cost of test. These features are incorporated into the MPI ShielDEnvironment™ for ultra-low noise, very accurate and highly reliable DC/CV, RF and High Power measurements.

关键特征

  • 一、Automated Single Wafer Loader(自动单片晶圆装载)
    可以非常方便、直接且直观地将8寸、6寸、4寸等晶圆直接放在装载台上,盖上暗箱后,全自动装载样片。
  • 二、ShielDEnvironment™(市场上最高屏蔽规格的微暗箱)
  • 三、Safety Test Management STMTM Option (安全测试管理系统)
  • 四、Hot/cold wafer swaps at set temperatures (待高低温样片互换系统)
    一般的加热、降温过程是非常缓慢的,当客户对一片晶圆加热后,如果需要换片,那需要重复经历冷却、再升温的过程,非常耗时。 MPI的晶圆热/冷互换载台可以让客户省去反复升降温的等待,自动将样片装载出。
  • 五、Vertical Control Environment™ (VCE) (侧面辅助光路系统)
    当客户的样片是柔性、超薄膜、射频电极等等的时候,我们提供了侧面辅助光路系统来直接观察探针与样片表面的接触情况。 配合上Z方向自动对焦显微镜,可以使得样片自动测试过程中,探针与样片始终保持最佳接触。
  • 六、ERS patented AC3 cooling technology incorporated
    (ERS冷却专利技术)
    最新的ERS专利技术,可以快速降温的同时,减少50%左右的用气量,极大限度地节约后续使用成本。
  • 七、Thermal Chuck Operation (加热、冷却功能显示和操作功能)
    提供专用触摸显示屏来显示温度值,并可以进行升降温和保温时间控制。
  • 九、MPI iMAG® Optics (XYZ全自动对焦显微镜)
    MPI自主研发全系列显微镜,这款AMZ12是在XYZ上进行全自动运行,自动对焦的显微镜。可以得到市场上最大的图像放大能力。
    配合上MPI专利的SENTIO软件,可以对样片进行自动测量、自动测试。也可以在测试过程中自动XYZ方向补差。
  • 十一、RF Tips (最新设计的RF针尖结构)
  • 八、Integrated Active Vibration Isolation (内置主动隔震台)
  • 十、Software Suite SENTIO® (自动测试软件)
    MPI总计有40位软件工程师历时3年,不断更新完善,终于面世了这款市场上唯一可触摸屏直接操作并且可以和显微镜、样品台等均可联动。有效提高操作效率和降低使用的复杂性。


  • (左:MPI的RF探针 / 右:Cascade的RF探针)

MPI自主设计的RF探针采用最新MEMS技术加工,针尖是向前方呈45°角。因此可以非常直观地获悉扎针位置和深度情况。这样可以极大延长探针使用寿命的前提下还能获得最佳的接触位置。反观传统的RF探针,必须凭经验和感觉才能知晓扎针落点和接触情况。