台式电子显微镜
Phenom LE 台式场发射电镜能谱一体机
  • 高分辨台式场发射电镜

     肖特基场发射电子源
    分辨率优于 2.5 nm @ 15 kV

  • 使用最方便的场发射电镜

       30 分钟培训即可上手
    无需喷金直接观察不导电样品

  • 世界上最快的场发射扫描电镜

       内置真空锁,15 s 抽真空
    实时导航,全面跟踪样品

  • 场发射电镜能谱一体机

       原厂集成能谱仪
    B(5)-Am(95) 元素探测

Phenom LE 台式场发射电镜能谱一体机
  • 光学显微镜

    放大 3 - 16 倍
  • 灯丝材料

    1,500 小时 CeB6 灯丝
  • 加速电压

    无需喷金直接观察不导电样品
  • 电镜放大

    最高到 100,000 倍
  • 分辨率

    优于 14 nm
  • 抽真空时间

    小于 30 秒
  • 探测器

    背散射电子探测器(选配二次电子)
  • 样品室尺寸

    100 mm×100 mm×40 mm
  • 能谱仪

    可选配 EDS 能谱仪

升级功能

飞纳台式场发射电镜能谱一体机可选配所有的样品杯硬件选件,可选配孔径、颗粒、纤维统计分析测量 系统和 3D 粗糙度重建等软件选件。


低电压成像 5.000x @3kV (SED)


能谱面扫结果
历时 6 年的研发,荷兰飞纳公司于 2018 年推出了全球 首套稳定运行的台式场发射(FEG)电镜能谱一体机 Phenom LE,采用肖特基场发射电子枪(FEG),集背 散射电子成像、二次电子成像和能谱分析于一体。飞纳台 式场发射电镜操作简单,效率高,无需防震台和磁屏蔽, 无楼层要求,只需要一张承重 200kg 的桌子。
飞纳台式场发射电镜能谱一体机专利腔室设计得到最佳的 探测角度和工作距离,显著提高 X 射线的收集效率。该 能谱采用稳定坚固的超薄 Si3N4 窗口,透过率在 0.26-0.6 KeV 低能量范围,是聚合物窗口的 2-3 倍,适合轻元素 检测和低电压能谱分析。全能量范围平均透过率比聚合物 窗口高 35%,进一步提高了能谱仪的 X 射线计数率。

产品参数

  • 光学显微镜

    放大 20-135 倍
  • 灯丝材料

    肖特基场发射电子源
  • 加速电压

    2 kV-15 kV 连续可调
  • 能谱探测器

    硅漂移探测器(SDD)
  • X射线分析模式

    15 kV
  • 电镜放大

    最高 150,000 倍
  • 分辨率

    优于 2.5 nm@15kV
  • 抽真空时间

    小于 15 秒
  • 输出报告

    DOCX
  • 能量分辨率

    <132eV(Mn Kα)
  • 探测器

    标配背散射电子、二次电子探测器
  • 放置环境

    普通实验室或办公室、厂房
  • 探测元素范围

    B(5)- Am(95)号元素
  • 冷却方式

    无液氮 Peltier 效应电制冷
  • 窗口

    Si3N4

Phenom XL 提供高、中、低三级真空,可以选配二次电子探测器



Phenom XL 背散射电子图像


能谱面扫结果

Phenom XL 全自动显微平台可拓展 U 中心样品台(Eucentric stage)和 1000 N

Phenom XL 电镜腔室扩容为 100 mm x 100 mm,一次可容纳多达 36 个 1/2英寸样品台,自动马达样品台的移动范围为 X = 50 mm,Y = 50 mm(可选配X=100 mm,Y=100 mm)

升级功能

Phenom XL 可选配所有的拓展功能软件选件,如孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和 3D 粗糙度重建等软件选件

Phenom XL 可升级元素分析能谱仪

Phenom ProX 电镜能谱一体机

Phenom ProX 电镜能谱一体机
选型指南

Phenom ProX 是一款使用高亮度 CeB6 灯丝的电镜能谱一体机,当您不仅只观测样品表面微观形貌,还要对其表面元素 成分进行定性定量分析时,Phenom ProX 是您理想的选择。2017 年,荷兰飞纳发布了分辨率优于 8nm@10kV,放大 倍数 150,000 倍, 元素探测范围介于 5-95 号之间的第 5 代 Phenom ProX 电镜能谱一体机。第一代 Phenom ProX 电镜能谱一体机曾荣获 2012 年全球新产品奖,是扫描电镜能谱行业的一个里程碑。

产品参数

  • 光学显微镜

    放大 20-135 倍
  • 灯丝材料

    1,500 小时 CeB6 灯丝
  • 加速电压

    5 kV-15 kV 连续可调
  • 能谱探测器

    硅漂移探测器(SDD)
  • X射线分析模式

    15 kV
  • 电镜放大

    最高 150,000 倍
  • 分辨率

    优于 8 nm@10kV
  • 抽真空时间

    小于 15 秒
  • 输出报告

    DOCX
  • 能量分辨率

    <132eV(Mn Kα)
  • 探测器

    背散射电子探测器(选配二次电子)
  • 放置环境

    普通实验室或办公室、厂房
  • 探测元素范围

    B(5)- Am(95)号元素
  • 冷却方式

    无液氮 Peltier 效应电制冷
  • 窗口

    Si3N4

升级功能

飞纳台式场发射电镜能谱一体机可选配所有的样品杯硬件选件,可选配孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和3D粗糙度重建等软件选件。Phenom ProX 的扫描电镜系统和EDS能谱仪系统使用的软件均由飞纳编写,用户通过一个界面就可以操控两项功能,图形化的设计,使操作变得前所未有的简单,点击感兴趣的区域,在数秒内既可以得到微观形貌信息,同时得到该区域的表面元素信息。


线扫描


面扫描
值得一提的是:使用 Phenom ProX 电镜能谱一体机,若设备遇到故障,来自复纳科学仪器(上海)有限公司的一位工程师就能帮您全面解决问题,用户再也不需要分别联系扫描电镜和能谱仪供应商的维修工程师了。当然,在您的正确使用下,Phenom ProX 是一位非常结实的工作伙伴,不会轻易给您带来烦恼。

示例——金相样品

Phenom ProX 电镜能谱一体机能谱测试——面扫(Mapping 计数率高达 1.3 万 CPS,Mapping 结果更准确)
Phenom ProX 电镜能谱一体机能谱测试——线扫