台阶仪
ET150 产品特性

•  设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震;

•  独家专利的直动式传感器设计;

•  Z方向分辨率0.1m;重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm;

•  Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A);

•  样品台的垂直直线度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

•  高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm;

•  选配三维测量功能。

ET4000A
KOSAKA LAB SE 500-59 (表面粗糙度测定机)

KOSAKA SE 500-59表面粗糙度测定机是一款KOSAKA新推出的经济型便携式台式两用机型。根据您的需求任意组合,并可对多种零件表面的粗糙度,波纹度以及原始轮廓进行多参数评定,是一款带有专用控制器的高精度,高性能,表面粗糙度测量仪器,简单操作,显示一目了然。

微细形状测定机(台阶仪)
Step Height Measuring System
ET150K31

KOSAKA SE 500-59表面粗糙度测定机是一款KOSAKA新推出的经济型便携式台式两用机型。根据您的需求任意组合,并可对多种零件表面的粗糙度,波纹度以及原始轮廓进行多参数评定,是一款带有专用控制器的高精度,高性能,表面粗糙度测量仪器,简单操作,显示一目了然。

极佳重复性与线性度

•  采用直动式检测方式;

•  可避免圆弧补正误差;

•  可避免Bearing间隙误差;

•  台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm;

•  Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)。

高分辨率

•  纵轴最高分辨率0.1nm;

•  横轴最高分辨率0.1um;

•  X测定速度可调:5μm~2mm/s;

•  可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等。

超高垂直直线度

• 垂直直线度:任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度;

• 可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂皆有出厂测试认证报告;

• 超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。

超高垂直直线度的优势

位移光栅尺与时间取样

ET150绝佳的设计 达到最佳的测量效果

•  设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震

  → 最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性

•  直动式检测器

  → 最佳的测量重复性&线性度,确保各样品台阶测量的精度、准确度

•  样品台超高的垂直直线度保证

  → 进一步提高台阶测量精度,确保样品形状不变形

•  样品台X方向光栅尺定位,最长测量距离100mm,最快测量速度5μm/s

  → 样品周期性结构不失真,长距离有利于测定多种国际参数

形状及粗度解析果

粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;

超大测定力范围

•  测定力在 10 ~ 500uN、    1~50mgf 可任意设定;

•  可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

成交客户(包括但不限于)

极佳重复性与线性度

•  采用直动式探针;

•  可避免圆弧补正误差;

•  可避免Bearing间隙误差;

•  段差测定再现性;

•  1σ 0.2nm以内,但实际高速测试中可达0.1nm

高分辨率

•  纵轴最高分辨率0.1nm;

•  横轴最高分辨率0.1um;

•  X测定速度可调:5μm~2mm/s;

低测定力

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定;

• 可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

超高垂直直线度

• 可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂皆有出厂测试认证报告;

• 超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。

真直度保证-1

线性尺与时间取样

形状及粗度解析果

粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;

成交客户(包括但不限于)

设备特点

* 显示一目了然,操作简单。

* 配备高分辨率的超大TFT LCD屏幕,彩色图标显示,触控式面板,显示更清晰,操作更简单。

* 轻松设置表面粗糙度的测量条件。

* 配备有符合最新ISO,DIN,ANSI和JIS标准的几十种粗糙度评价参数。可进行高精度、高水平分析和多功能粗糙度测量。

* 宽范围和高分辨率的检测器提供了更优越的高精度测量。

(测量范围/分辨率:800um/0.08nm)

(测量长度/真直度精度:55mm/0.3um以下)的测量。

* 并可根据需求任意组合,满足不同环境

标准配置

  • ·检出器:PU-A4
  • ·Driver Uint:DR-55X11
  • ·放大演算装置:AS-500
  • ·校正标准片:SS-N
  • ·底座:SP-94
  • ·触针:AA2-60(可根据需求选配各种类型触针
  • ·Nose Piece ANA
  • ·记录纸

技术参数

參數符合世界規範:
Ra、Rz、Rt、Rp、Rv、RSm、Rq、Rsk、Rku、Rmr(c)、Rmr, Rδc、RΔq、Rc、Ry、Rmax、Rpm、Rk、Rvk、Rqk、Pa、Pz、Pt、Pp、Pv、PSm、Pq、Psk、Pku、Pmr(c)、Pmr、Pδc、PΔq、Pc、PPI、Wa、Wz、Wt、Wp、Wq、Wmr(c)、Wsm、WcA、WcM、Sm、S、tp、Htp、Δq、Δa、HSC、λa、λq、Mr1、Mr2、A1、A2。

测定范围:
纵800um/横55mm。

分解能:
0.08nm。

驅動速度:
0.05,0.1,0.2,0.5,1.2mm/S,高速移動。

濾波器(FILTER):
高斯/2CR/特殊高斯。

测定倍率:
X :50,100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,200000自動
Y :1-1000,自动

Cut off值:
粗度:λc 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8.0mm λs各种规格
波紋度:λf 0.8 , 2.5 , 8.0,25.0mm

Levering:
全域, 前半部, 後半部, 中心, 2點, 曲面

測定長度:
]評價長度方式:λcX1 ~ X5, 任意(max:81mm)
JIS(82)mode R+W :0.08~8.0mm Free Length at 0.001mm Step

量測速度:
0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0 mm/s

螢幕:
640(RGB)x480, 彩色液晶, Touch panel

真直度测定精度:
0.3um/55mm以下

測試條件儲存:
USB 記憶卡(適用8GB )

資料外部輸出:
RS-232

檢出器:
Stylus: R2um鑽石, 測定力0.75mN, 頂角60°(可拆換式觸針)

電源:
單相AC90 ~ 240V, 200VA,50/60Hz

尺寸重量:
650*410*600mm/25kg

ET150K31 组合

产品特性

· 设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震

· 独家专利的直动式传感器设计

· Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

· Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

· 样品台的垂直直线度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

· 高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm

· 自带三维测量功能

ET150K31的结构

花岗岩低重心设计

极佳重复性与线性度

采用直动式检测方式
可避免圆弧补正误差
可避免Bearing间隙误差
台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

直动式检出器构造

重复测量数据 (10 times)

直动式检出器测量边沿效应

直动式检出器测量边沿效应

线性度

Vertical linearity(垂直线性度) : ±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)
线性度计算公式: 误差范围 / Z方向测量范围
测量设备型号 : ET-150系列
测试样品为 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 认证的标准样品
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

Taylor Hobson 标准样

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

高分辨率

纵轴最高分辨率0.1nm

横轴最高分辨率0.1um
X测定速度可调:5μm~2mm/s

可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等

超高垂直直线度

垂直直线度:任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度

可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂皆有出厂测试认证报告

超高垂直直线度精度保证:
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力

超高垂直直线度的优势

超高直线度国际认证数据

位移光栅尺与时间取样

ET150K31绝佳的设计,达到最佳的测量效果

设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震
·最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性

直动式检测器
·最佳的测量重复性&线性度,确保各样品台阶测量的精度、准确度

样品台超高的垂直直线度保证
·进一步提高台阶测量精度,确保样品形状不变形

样品台X方向光栅尺定位,最长测量距离100mm,最快测量速度5μm/s
·样品周期性结构不失真,长距离有利于测定多种国际参数

实时监控测量位置

配备标准CCD:实时监控测量位置

可选购TOP VIEW CCD,执行高精度定位量测

形状及粗度解析

粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种

可测量台阶及倾斜度

超大测定力范围

测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定 可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

触针保护盖板及方便更换