测试仪表
Keithley 参数化测试系统
S530 Parametric Test Systems

S530 参数化测试系统 适用于必须操作各种设备和技术的生产和实验室环境,提供业界领先的测试计划灵活性、自动化、探头测试台集成以及测试数据管理功能。吉时利拥有超过 30 年的专业经验,针对这些测试解决方案的设计向全世界的客户提供各种标准和自定义参数化测试仪。

540 参数测试系统 是一个全自动化的 48 引脚参数测试系统,适用于高达 3kV 的功率半导体器件和结构的晶片级测试。完全集成式 S540 已针对包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 在内的最新复合功率半导体材料进行优化,可以在单次测试触摸中执行所有高电压、低电压和电容测试。

S500 集成式测试系统 是高度可配置的、基于仪器的系统,适用于器件、晶片或暗盒级半导体检定。S500 集成式测试系统基于我们经过验证的仪器,提供创新的测量功能和系统灵活性,并且根据您的需求可进行扩展。独有的测量能力结合强大而灵活的自动化检定套件 (ACS) 软件,提供市场上其他同类系统无法提供的广泛应用和功能。 

主要性能指标
I-V 源测量单元 (SMU)

●  ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

●  100 fA 测量分辨率

●  选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率 ●  10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

●  四象限操作

●  2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVU)

●  AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

●  1 kHz - 10 MHz 频率范围

●  ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源,可以扩展到 ± 210 V (420 V 差分 )

●  选配 CVIV 多功能开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

●  两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道 ●  200 MSa/s,5 ns 采样率

●  ±40 V (80 V p-p),±800 mA

●  瞬态波形捕获模式

●  任意波形发生器 Segment  ARB® 模式,支持多电平脉冲 波形,10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元 (PGU)

●  两个高速脉冲电压源通道

●  ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

●  任意波形发生器 Segment  ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率

I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

●  在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或 抬起探针

●  把 C-V 测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针

远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

●  在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动 切换

●  把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

●  降低电缆电容效应

S530 功能

• 能轻松适应新设备和测试要求
• 快速、灵活、交互式测试计划制定
• 兼容于常见的全自动探头测试台
• 提供 1kV、C-V、脉冲生成、频率测量和低压测量选项
• 兼容于 Keithley 的 9139A 型探头卡适配器
• 支持重复使用现有的五英寸探头卡库
• 经验证的仪器技术确保在实验室和工厂中实现高测量精度和可重复性

S540 功能

• 在单次探头触摸中自动在多达48个引脚上执行所有晶片级参数测试,包括高电压击穿、电容和低电压测量,无需更改电缆或探头卡基础设施
• 在最高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量,如 Ciss、Coss 和 Crss,而无需手动配置测试引脚
• 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件支持轻松进行测试开发和快速执行
• 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用
• 通过最大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积,降低拥有成本,同时实现实验室级测量性能

S500 功能

先进的校准功能,如离轴和卡盘安装的上部相机,使TS2500-RF成为在复杂RF测量配置中进行测试的理想平台。 MPI Photonics自动化部门数十年的经验使这些功能更加可靠。

Complete test solution 完整的测试方案

• 全量程源测量单元 (SMU) 仪器技术规格,包括 subfemtoamp 测量,确保在几乎任何设备上都能执行广泛的测量。
• 适用于内存检定、电荷泵、单脉冲 PIV(电荷陷阱分析)和 PIV 扫描(自加热回避)的脉冲生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系统的可扩展 SMU 仪器,提供低或高通道数系统,包括并行测试。
• 适用于测试功率 MOSFET 和显示驱动器等测试器件的高电压、电流和功率源测量仪器。

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亲眼见证创新! 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪,4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM基于GUI的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试,Clarius Software可以更深入地挖掘研究过程,快速而又满怀信心。
4200A-SCS参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。

为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪

使用强大的 Clarius 软件,可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试,结果清晰明了

4200A-SCS 仪器和模块

提取或测量参数列表实例

1. Clarius Software 实时结果和参数
自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所 需信息的速度。您不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。全新Clarius Software用户界面,您可以把对科研的理解提升到全新水平。4200A-SCS包括 Clarius+软件包,可以执行几乎任何类型的 I-V、C-V 和脉冲式 I-V特性分析测试。Clarius Software用户界面提供了触滑或点击控制功能,为现无需示波器检验脉冲测量代半导体、材料和工艺特性分析提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。

主要特点 ● 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件,缩短测试开发时间
● 业内第一台内置测量视频的仪器,测试视频由全球应用工程师提供,分为4种语言,缩短学习周期
● pin to pad接触检查,确保测量可靠
● 多种测量功能
● 数据显示、分析和代数运算功能

专家视频,降低特性分析复杂度 观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频,迅速掌握应用,缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助,在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时,将为您提供指引。Clarius Software短专家视频支持四种语言(英语、中文、日语和韩语),可以迅速让你洞察先机。

大量随时可以使用的应用测试可供选择 通过Clarius库中装备的450多项应用测试,您可以选择或修改预先定义的应用测试,加快特性分析速度,或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步,Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。

实时结果和参数 自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所需信息的速度。您不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。

无需示波器检验脉冲测量 脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数,确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式,进行基于时间的电流或电压测量,而无需使用外部示波器。

典型应用

  • MOSFET, BJT 晶体管
  • 材料特性分析
  • 非易失性存储设备
  • 电阻率系数和霍尔效应测量
  • NBTI/PBTI
  • III-V 族器件
  • 失效分析
  • 纳米器件
  • 二极管和 pn 联结
  • 太阳能电池
  • 传感器
  • MEMS器件
  • 电化学
  • LED和OLED

构建测试方案

在Clarius库的450多种预先定义的应用测试和项目中搜索、过滤及选择所需测试项。