探针台
TS 2000-HP advanced high power solution
TS 2000-HP高级大功率解决方案

MPITS2000-HP的自动化提供了可靠的晶片高功率器件测量宽温度范围和测量能力高达3KV (三同轴)/10 KV (同轴电缆) 和 600 A (脉冲)。先进的MPI系统提供低噪音和屏蔽测试环境。



单机多应用设计

无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器c7bfcf96cbc2358e99c4f090009c18a0.jpg

全新设计的扩展器、调谐器集成,可实现最大的动态测量7afce7762cdfa563ba6b6ec4de5b0d4e.jpg

最大的机械稳定性和重复性,实现方便和安全的操作


人体工程学设计

方便单手操作的,快速移动气浮式样品台设计

坚固且空间充足的工作台,可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器

三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading),实现接触、分离和加载的高性能


弹性选配与升级

可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器

专用光学元件,用于缩短电缆和波导的长度,实现最大的测量方向性

各种夹头选件,印刷电路板和各种附件,如DC / RF /毫米波定位器









8寸全自动TS2500-RF
TS2500-RF-The first fully automatic probe system dedicated for RF production test

TS2500-RF-第一款专用于射频生产测试的全自动探头系统

MPI公司通过在不到两年的时间内推出十几种新产品,迅速成为我们服务市场的创新领导者。

MPI的最新产品创新是专用于射频(RF)生产测试的全自动探针系统。 该系统与所有MPI系统附件兼容,专为满足生产级高级RF设备测试的需求而设计。

TS2000-SE主机

ERS AirCool制冷低温系统主机

MPI TS3000-SE with ShieIDEnironmen

TS3000-SE是 TS3000 探针系统的进一步发展, 以 MPI 系统为超低噪声. 非常准确和高度可靠的 DC/CV,1/f RTS 和 射频测量, 主要解决设备特性的需要,晶片级可靠性和射频和毫米波应用。

独特主动冷却探头板设计提供了最大的稳定性, 在宽温度范围从-60度到 300度, 使 TS3000-SE 探头系统成为不同热条件下测试设备的绝佳选择。

MPI TS150、TS200、TS300每一款都包含许多令人兴奋的功能, 使日常操作更简单、直观、方便, 同时确保了高精度测量。




- 支持手动、半自动、全自动版本;支持4mm300mm样品

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- 支持10kV高电压(漏电可达fA级);600A大电流

- 支持高低温:-60300

- 支持最薄50μmWafer,表面镀金

- 支持Taiko Wafer

- 支持液体池加绝缘液

- 防打火设计,陶瓷绝缘屏蔽或者暗箱光栅屏蔽

- 支持所有高压仪表,并有适配接口和线缆

- 同时支持DC-110G测试,大功率窄脉冲测试、低漏电测试等










Safety 安全

联锁启用安全灯帘, 通过联锁系统关闭仪器, 保护用户免受意外的高压冲击。
该系统具有后门, 受联锁保护, 并为提供方便和方便的初始测量设置。

High voltage probe (HVP) 高电压探针(HVP)

低泄漏探头专门设计用于承受高达10 kV(同轴)和3 kV(三轴)的高压。
可选择各种连接器选项,如Keysight Triax / UHV,Keithley Triax / UHV,SHV或Banana。

High current probe (HCP) 高电流探针(HCP)

专为晶圆测量高达200 A(脉冲)的高电流而设计的高性能探头。 MPI多指大电流探头
采用单片结构,可有效处理高电流并提供低接触电阻。

Optional Anti-arcing Liquidtray 可选防电弧 Liquidtray

专门设计的防电弧LiquidTray可以通过简单地放置在高功率卡盘表面上来用于电弧抑制。
晶圆可以安全地放置在托盘内,浸没在液体中,进行无电弧高压测试。

Hot/cold wafer swaps at set temperatures 热/冷晶圆在设定温度下交换

自动化单晶圆装载机和安全测试管理提供了在任何卡盘温度下装载/卸载晶圆的独特功能,不需要冷却或加热到环境温度装载或卸载晶片,这样可以节省大量停机更换样品时间,并显著提高整体MPI测试的效率。

MPI TS2000-HP具有相同的标准功能,例如热卡盘集成,安全测试管理,自动单晶片加载器,振动隔离以及TS2000-SE系统的集成探针控制。

Software suite SENTIO 软件套件 SENTIO

MPI自动化工程探针系统由独特且革命性的多点触控操作控制SENTIO软件套件 - 简单直观的操作节省了大量的培训时间,Scroll,Zoom,Move命令模仿现代智能移动设备,让每个人在几分钟内都成为专家。

对于RF应用系统,无需切换到另一个软件平台 -  MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO 完全集成通过遵循单一操作方法使用

Thin wafer handing 薄晶圆处理

S2500-RF卡盘和晶圆提升销的独特设计可以安全地处理厚度低至50微米的晶圆,从而可以测试具有挑战性的薄III-Vs化合物晶圆。
射频卡盘包括两个完全由特殊陶瓷材料构成的辅助卡盘组成,用于精确的射频校准。辅助卡盘和热卡盘还可用于保持探针清洁作用。

High throughput 高吞吐量

自动化包括双端部执行器和双晶圆盒式磁带支架,适用于150mm或200mm晶圆,可提供高效的晶圆交换和更高的测试速度。 TS2500-RF的最高速度可达10 片 /秒(取决于最终系统配置),这使其成为分立式射频器件和集成电路(IC)生产电气测试的理想选择。

Advanced alignment 校准系统

先进的校准功能,如离轴和卡盘安装的上部相机,使TS2500-RF成为在复杂RF测量配置中进行测试的理想平台。 MPI Photonics自动化部门数十年的经验使这些功能更加可靠。

Complete test solution 完整的测试方案

TS2500-RF可配置MPI先进的RF附件,如RF MicroPositioners,RF电缆,校准基板和TITANRF探头,以确保更加精准的RF测量。
随着VNA与DUT的集成,MPI与Rohde&Schwarz的合作以及新的先进校准技术,使TS2500-RF成为一个能够处理RE生产测试复杂性的全面测量解决方案。

测量差异

MPI公司出品的TS2000-SE 型8寸半自动晶圆测试探针台是市场上有史以来第一次为200毫米自动化工程探测系统在集成创新的特点专门设计。这些特性是纳入MPI ShielDEnvironment™为超低噪音,非常准确和高度可靠的DC/CV, RF和高功率测量。

The TS2000-SE from MPI is the first ever 200mm automated engineering probe system on the market integrating innovative features specifically designed to reduce the cost of test. These features are incorporated into the MPI ShielDEnvironment™ for ultra-low noise, very accurate and highly reliable DC/CV, RF and High Power measurements.

关键特征

  • 一、Automated Single Wafer Loader(自动单片晶圆装载)
    可以非常方便、直接且直观地将8寸、6寸、4寸等晶圆直接放在装载台上,盖上暗箱后,全自动装载样片。
  • 二、ShielDEnvironment™(市场上最高屏蔽规格的微暗箱)
  • 三、Safety Test Management STMTM Option (安全测试管理系统)
  • 四、Hot/cold wafer swaps at set temperatures (待高低温样片互换系统)
    一般的加热、降温过程是非常缓慢的,当客户对一片晶圆加热后,如果需要换片,那需要重复经历冷却、再升温的过程,非常耗时。 MPI的晶圆热/冷互换载台可以让客户省去反复升降温的等待,自动将样片装载出。
  • 五、Vertical Control Environment™ (VCE) (侧面辅助光路系统)
    当客户的样片是柔性、超薄膜、射频电极等等的时候,我们提供了侧面辅助光路系统来直接观察探针与样片表面的接触情况。 配合上Z方向自动对焦显微镜,可以使得样片自动测试过程中,探针与样片始终保持最佳接触。
  • 六、ERS patented AC3 cooling technology incorporated
    (ERS冷却专利技术)
    最新的ERS专利技术,可以快速降温的同时,减少50%左右的用气量,极大限度地节约后续使用成本。
  • 七、Thermal Chuck Operation (加热、冷却功能显示和操作功能)
    提供专用触摸显示屏来显示温度值,并可以进行升降温和保温时间控制。
  • 九、MPI iMAG® Optics (XYZ全自动对焦显微镜)
    MPI自主研发全系列显微镜,这款AMZ12是在XYZ上进行全自动运行,自动对焦的显微镜。可以得到市场上最大的图像放大能力。
    配合上MPI专利的SENTIO软件,可以对样片进行自动测量、自动测试。也可以在测试过程中自动XYZ方向补差。
  • 十一、RF Tips (最新设计的RF针尖结构)
  • 八、Integrated Active Vibration Isolation (内置主动隔震台)
  • 十、Software Suite SENTIO® (自动测试软件)
    MPI总计有40位软件工程师历时3年,不断更新完善,终于面世了这款市场上唯一可触摸屏直接操作并且可以和显微镜、样品台等均可联动。有效提高操作效率和降低使用的复杂性。


  • (左:MPI的RF探针 / 右:Cascade的RF探针)

MPI自主设计的RF探针采用最新MEMS技术加工,针尖是向前方呈45°角。因此可以非常直观地获悉扎针位置和深度情况。这样可以极大延长探针使用寿命的前提下还能获得最佳的接触位置。反观传统的RF探针,必须凭经验和感觉才能知晓扎针落点和接触情况。

Probe hover control 探头悬停控制

Probe hover control  探头悬停控制 MPI 探针悬停控制 PHC 允许手动控制接触和分离距离, 可以精确地控制与微米反馈探针探针的晶片/垫定位. 易于使用通过在关键设置和探头更换操作期间最小化错误来保证最安全的操作。

Easy wafer loading 易晶片装载

双前门通道和独特的卡盘设计, 使150、200、300毫米硅片碎片或小到 4 * 4 毫米 IC容易装卸程序。

辅助卡盘都位于前面, 可以很方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于校准和探针卡清洁的简单自动化方法。

Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板

Integrated hardware control panel  集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 根据数十年的经验和客户交互设计, 提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作. 键盘和鼠标是战略定位控制软件, 也将控制基于 windows 的仪器。

Thermal chuck integration 热卡盘集成

由于智能冷水机组集成, TS3000 系列为节省实验室宝贵空间提供了最佳的足迹。

MPI和ERS设计了新的300毫米热夹头技术家庭,提供了无与伦比的热弹性,减少了60%的浸泡时间,以及市场上最大的各种热范围。

减少过渡时间,改善电气性能,在惰性气体环境下更容易测试,以及现场可升级性是主要热卡盘系统的附加值。

热系统可以通过使用全集成触摸屏显示,置于方便的位置,在操作前快速操作和即时反馈。

ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却

这些卡盘包含了专利的AC3冷却技术和自人类管理系统,使用循环冷却空气净化MPI保护环境,从而大大减少了市场上其他系统的30% - 50%的空气消耗。

Safety test management (STM) system 安全测试管理系统

独特的STM系统在测试测量结果时防止门打开是安全的,在任何情况下都不可能在负的卡盘温度中意外开启任何系统。此外,智能露点控制程序避免了冷测时的灵敏度。系统自动监测CDA或氮的流动。如果流量中断或不足,STM自动将卡盘转换为安全模式,在露点以上尽快加热卡盘。MPI STM是通过自动维护安全的测试环境,使TS 3000 -SE测量更安全、更可靠、更方便的特性。

Instruments integration 设备集控

可选的仪表架可减少电缆长度,增加测量的动态性和方向性。

oftware suite SENUIO 软件套件SENUIO

MPI自动化工程探测系统由一个独特的和革命性的,多点触摸操作SENTIO软件套件简单直观的操作将节省大量的训练时间,滚动变焦,模仿现代智能移动设备和移动命令可以让每个人都成为一个专家在几分钟.Switching活动应用程序与应用程序的其余部分是一个简单的手指扫描的问题。

对于射频应用,不需要切换到另一个软件平台——MPI射频校准软件程序QAlibria完全集成到感知器中,通过遵循单一的操作概念方法,便于使用。

Unique Platen Lift with Probe Hover Control 具有探头悬停控制的独特控制技术

测量精度首先取决于接触质量。高度可精准重复的 (1 um精度) 针座台设计与三个独立的档位划分:接触(0μm)、分离 (300 um) 和载片 (3 um) 与安全锁设计是目前市面上绝无仅有的功能。这些功能防止意外损坏探针或晶圆, 同时提供直观的控制和准确的接触定位,这种能力在高频和大功率应用中尤其重要, 以达到最准确的测量结果。

对于 TS200 和 TS300,还可以额外提供带有悬停高度 (50,100 或 150 um)的装置, 可轻松方便地使探针与待测样品电极对齐。

Height Adjustment Scale 高度精调设计

针座台有25mm 的精细高度调整, 可以应对各种应用. 1mm 精确刻度给出了探针离开样品的直接位置反馈。

Compact and Rigid Platen Design 紧凑、灵活的针座台

紧凑、灵活的针座台可容纳多达10组直流或4组射频针座,可满足各种应用要求。

Various Chuck Potions 丰富的样品台规格选择

手动系统可用各种卡盘选项来满足不同的预算和应用要求. 卡盘选项包括 MPI 的同轴或三轴样品台或各种ERS高低温卡盘, 以支持高达300度的温度测量。并包含无缝集成的加热台控制器, 方便快捷的阅览和操作。

Auxiliary Chucks 辅助卡盘

射频卡盘还包括两个内置的陶瓷材料做成的辅助卡盘, 用于精确的射频校准。

Various Optic and movement Choices 多样的显微镜选择

提供多种光学显微镜的选择,包括所有常见的体式显微镜、单筒金相显微镜、金相显微镜或负载牵引配置。

Optic Tilting 显微镜倾斜功能

显微镜可以进行90度的倾斜, 并且是气动驱动, 加上Z 轴方向上的精调功能,可以提供非常方便的扎针和更容易的探针更换。

Vibration Isolation Platform 内置隔振平台

所有的手动系统包括吸振基座, 以实现稳定可靠的探针与样品的长时间接触, 确保可靠的测量结果. 隔振平台或工作台可选配不同的型号,以满足实验室环境需要。

Dark Box 屏蔽箱

可用的屏蔽选项为超低噪声直流测量提供了 EMI 光电磁屏蔽环境。

直流、射频和THZ微定位器的探针板设计







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MPI探针悬停控制TM配有悬停高度(50、100或150μm), 便于探针与Pad的对准。






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MPI提供世界上独一无二,最精确的接触/超大行程控制, 精度为1um,便于测量的重复性和精确性。






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无缝集成任何扩频器,以在200毫米晶片上获得 最佳测量方向性。






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MPI陶瓷辅助夹头






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用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头系统






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高压防打火和安全防护






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高压大电流探针

  





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高压镀金薄片样品台





                                                       

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多点触控操作软件




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